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乾式真空泵為高科技製程設備必備的關鍵元件，提供半導體、平面顯示器、太陽能與 LED等產業應用。
漢鐘精機公司與金屬中心合作，開發出大型乾式真空泵，並成功導入TFT／LCD與太陽能產業應用。
據金屬中心表示，台灣在乾式真空泵使用量因為上述產業的需求，幾乎占全球乾式真空泵市場之首位，然而目前國內所使用的乾式真空泵幾乎都是由國外進口，為降低成本，國外真空泵廠商如英國Edwards與法國Alcatel，已經將生產基地移到韓國，日本Ebara、ULVAC與德國Leybold則選擇在中國設廠生產，對於國內高科技產業發展，可說是十分不利，幸好國內廠商漢鐘精機憑藉數十年來在精密機械研發的經驗，目前已經成功開發出螺旋式乾式真空泵，並已成功導入TFT／LCD、太陽能與LED產業應用。
然而隨著客戶製程產能愈來愈大，對真空泵排氣量要求也愈大，因此漢鐘精機透過經濟部工業局輔導國內平面顯示器設備自製率倍增計畫，成功開發出符合市場需求的大排量魯氏真空泵。
該中心表示，相較於以往小型真空泵，大排量魯氏真空泵之開發，需要克服真空泵在高真空下，因真空壓力造成變形的強度分析，同時因為真空泵腔體體積放大後，在鑄造上的失敗率也會大幅拉高，為了避免昂貴的模具投資失敗，因此對於鑄造技術的模擬分析也十分重要，本計畫由金屬工業中心提供完整的模流分析，確保開模製造的成功率，再配合漢鐘精機在真空泵多年的研發經驗，終於成功地在最短的時間內完成產品研發，並立即收到國內外的訂單，可說是非常成功的產品研發案例。

<摘錄經濟> 2011/06/14

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